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價格:電議
所在地:北京
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更新時間:2022-03-01
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公司地址:北京市昌平區回龍觀西大街115號龍冠大廈3樓
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王新波(先生)
采用激光非接觸式測量,適用于多種材料和復雜結構的樣品的三維測量設備。
NH系列是由高測量度的激光自動對焦顯微鏡,以及高精密度的XYZ載臺所構成。如圖所示,被射入顯微鏡鏡頭的激光穿過物鏡后聚焦于光軸中心之處,接著反射于工件表面再穿過物鏡后成像于AF傳感器之上。由于失焦時,激光光點會于傳感器上產生位置變化,使得傳感器能捕捉到此位置變化,并利用AF驅動機制將物鏡定位于聚焦處。進行形狀測量時,會利用自動XY載臺掃描工件,取得所聚焦各點之XYZ值。以這樣的方式進行作業,工件表面的顏色或反射率等不僅不會受到影響,并且可達到大范圍的高精度測量。
主要精度:
XY分解能:0.01μm
Z分解能:0.001μm
XY測定範囲:150mm
Z測定範囲:10mm
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