晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查 。

歐屹科技，是以激光、光電儀器、電子封裝設(shè)備為核心業(yè)務(wù)的專業(yè)代理經(jīng)銷(xiāo)商和服務(wù)商，歐屹科技以多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，
為客戶引進(jìn)國(guó)內(nèi)外先進(jìn)的激光器、光電器件、光電儀器、光電系統(tǒng)、電子封裝設(shè)備等高精尖儀器設(shè)備
其中高功率半導(dǎo)體激光器，微光學(xué)透鏡，劃片機(jī)，
應(yīng)力雙折射測(cè)試儀尤其受到客戶的贊許。
另外，歐屹科技以專業(yè)的技術(shù)支持和售后服務(wù)；豐富國(guó)際貿(mào)易經(jīng)驗(yàn)為廣大用戶提供廣泛的支持，
我們正盡最大努力把歐屹科技建設(shè)成為值得您信賴的公司

列真公司在半導(dǎo)體光罩檢測(cè)設(shè)備上積累了獨(dú)自技術(shù)， 主產(chǎn)品 LODAS ?系列具有日本專利權(quán)的激光檢測(cè)技術(shù)，可同時(shí)探測(cè)收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面，背面和內(nèi)部的缺陷，可探測(cè)最小缺陷為100 納米，主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查 。將此項(xiàng)技術(shù)運(yùn)用于第三代半導(dǎo)體材料的缺陷檢查，將提升量產(chǎn)成品率將具有重要意義。

應(yīng)用: SiC、GaN 

        半導(dǎo)體光罩（石英玻璃與涂層）、

        石英Wafer    Si Wafer  

        HDD Disk LT Wafer 

        藍(lán)寶石襯底、

        EUV光罩、

        光罩防塵膜

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