產(chǎn)品簡介
該13.56MHz自動(dòng)匹配器主要應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、ICP、光學(xué)鍍膜、等離子清洗、等離子體增強(qiáng)、感應(yīng)加熱及PECVD等系統(tǒng)。
公司簡介
吉兆源科技有限公司是一家致力于射頻技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)和研發(fā)的高科技技術(shù)企業(yè)。 公司主要研發(fā)和生產(chǎn)射頻電源、射頻自動(dòng)匹配器及濺射用直流電源。
吉兆源與國外知名射頻企業(yè)保持著深層次的技術(shù)交流，真正了解國外射頻技術(shù)核心，吉兆源采取靈活的合作模式，國內(nèi)外工程師平均設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)?zāi)晗薅即笥?5年，已經(jīng)形成有別于其他國內(nèi)射頻電源公司的差異化競爭優(yōu)勢(shì)。并在延續(xù)、吸收國外設(shè)計(jì)理念、技術(shù)的基礎(chǔ)上研發(fā)出了國內(nèi)自己的射頻產(chǎn)品，使公司成為國內(nèi)真正搞自主研發(fā)并成功為國內(nèi)客戶替換掉了多款國外射頻產(chǎn)品的高新技術(shù)企業(yè)，并為國內(nèi)生產(chǎn)的高端設(shè)備射頻電源的國產(chǎn)化提供了可靠的國內(nèi)方案。
公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)理念起步于國外半導(dǎo)體領(lǐng)域，立足于國內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)應(yīng)用，成功迎合本土化需求，多年參與半導(dǎo)體設(shè)備射頻電源設(shè)計(jì)、調(diào)試和服務(wù)。具有豐富的半導(dǎo)體設(shè)備服務(wù)能力，也以此保證了公司產(chǎn)品的頂端優(yōu)勢(shì)。
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產(chǎn)品說明
產(chǎn)品性能
13.56MHz自動(dòng)匹配器采用高速匹配算法，當(dāng)接近匹配點(diǎn)時(shí)，這種高速匹配算法會(huì)逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時(shí)也很容易找到匹配點(diǎn)。
13.56MHz自動(dòng)匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準(zhǔn)確性和可靠性可以很快的響應(yīng)負(fù)載特性變化。
應(yīng)用對(duì)象
13.56MHz自動(dòng)匹配器主要應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、ICP、光學(xué)鍍膜、等離子清洗、等離子體增強(qiáng)、感應(yīng)加熱及PECVD等系統(tǒng)。
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