13.56MHz射頻電源（大功率）輸出功率可達2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重復等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數，同時還可以顯示匹配器的運行參數并且通過電源面板可操作射頻匹配器。

吉兆源科技有限公司是一家致力于射頻技術領域生產和研發的高科技技術企業。 公司主要研發和生產射頻電源、射頻自動匹配器及濺射用直流電源。 吉兆源與國外知名射頻企業保持著深層次的技術交流，真正了解國外射頻技術核心，吉兆源采取靈活的合作模式，國內外工程師平均設計經驗年限都大于15年，已經形成有別于其他國內射頻電源公司的差異化競爭優勢。并在延續、吸收國外設計理念、技術的基礎上研發出了國內自己的射頻產品，使公司成為國內真正搞自主研發并成功為國內客戶替換掉了多款國外射頻產品的高新技術企業，并為國內生產的高端設備射頻電源的國產化提供了可靠的國內方案。 公司產品設計理念起步于國外半導體領域，立足于國內工業生產應用，成功迎合本土化需求，多年參與半導體設備射頻電源設計、調試和服務。具有豐富的半導體設備服務能力，也以此保證了公司產品的頂端優勢。

產品性能

該13.56MHz射頻電源（大功率）輸出功率可達2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重復等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。
13.56MHz射頻電源（大功率）采用大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數，同時還可以顯示匹配器的運行參數并且通過電源面板可操作射頻匹配器。

應用對象

該13.56MHz射頻電源（大功率）可以作為射頻驅動等離子體系統的電源，該系統可應用于半導體工業。應用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統。

本頁產品地址：http://m.lgsztm.com/sell/show-9555380.html