NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統概述：該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制，完全的安全互鎖。

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月，是服務大中華區(包含中國大陸，香港，臺灣和澳門)的客戶，同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室，提供銷售和售后技術服務。 那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國，該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創立的全資子公司，是一家的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式名。 自2001年Nano-Master開始設計開發薄膜應用方面的設備，正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發和電子束蒸發，離子束刻蝕和反應離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發展成為全球薄膜設備的供應商，已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發中心和國家重點實驗室。 我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員，使得公司擁有的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商，我們的目標是提供高品質的服務并始終維持高水平的集成度。

NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統概述：NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10^-7Torr極限真空)、PC全自動控制，完全的安全互鎖。

目前，這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統，該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統應用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統特點：

• 獨立系統

• 14”不銹鋼立方體腔體

• 1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子

• 加熱的氣體管路

• RF等離子源，自動調諧

• 淋浴頭氣體分布

• 1100°C的旋轉樣品臺

• N2沖洗

• 全自動上下載片

• 可以兼容到集群配置中

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