NEE-4000（A）全自動電子束蒸發系統概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置，其中樣品臺位于主腔體內，二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月，是服務大中華區(包含中國大陸，香港，臺灣和澳門)的客戶，同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室，提供銷售和售后技術服務。 那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國，該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創立的全資子公司，是一家的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式名。 自2001年Nano-Master開始設計開發薄膜應用方面的設備，正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發和電子束蒸發，離子束刻蝕和反應離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發展成為全球薄膜設備的供應商，已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發中心和國家重點實驗室。 我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員，使得公司擁有的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商，我們的目標是提供高品質的服務并始終維持高水平的集成度。

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發系統概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置，其中樣品臺位于主腔體內，二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時，他可以通過第三方的預真空鎖來實現，這可以設置于立方體的左側。通過PC計算機控制，系統可以提供多電子束源的共蒸發能力，以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發系統特點：

• 順序蒸發或共蒸發

• 雙電子束源

• 多凹槽電子槍

• 可編程電子束掃描

• 10KW開關電源

• 渦輪分子泵，極限真空5x10-7Torr

• 自動上下載片

• 材料和襯墊更換非常方便

• 晶振式膜厚監測儀

• 通過LabView軟件實現PC計算機控制

• 菜單驅動，四級訪問密碼保護

• 完全的安全聯鎖

  
  

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發系統產品型號：

• NEE-3500：計算機全自動控制的緊湊型獨立系統

• NEE-4000：計算機全自動控制的獨立系統

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