FT1000SA三軸MEMS電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號限制電路。設計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術。具有高可靠性和高封裝堅固性。

  公司成立于2009年，注冊資金200萬元，公司總部位于古城西安經濟技術開發區鳳城二路22號。是一家集產品研發、生產、代理銷售為一體的高科技公司。

公司主要業務有：

設計、開發和生產振動、沖擊加速度/速度/力/壓力/位移等傳感器及相關信號調理器、振動激勵系統、動態信號數據測試與采集、動態信號分析與模態測試等產品；

設計、開發和生產無線電高度表（雷達高度計），氣壓高度計，基于MEMS技術的慣性組合導航產品，以及其它定制產品開發和非標測控系統定制項目，并承接OEM定制服務；

公司代理業務：美國AST壓力傳感器、美國SDI電容加速度傳感器、ROKE無線電高度表、avenet無線電高度表等、高速數據采集卡、視頻采集卡、圖像采集卡、便攜加固計算機/Getac及松下加固筆記本/加固機箱、單板計算機及嵌入式系統、計算機仿真模擬、高速圖像及雷達信息處理、航空測試設備（總線測試儀、線纜測試儀、飛機供電特性參數測試儀、高速大容量實時數據采集記錄系統）、電源模塊。

FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器

一、傳感器特點：

FT1000SA三軸MEMS電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號限制電路。設計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術。具有高可靠性和高封裝堅固性。

  FT1000SA三軸MEMS電容加速度傳感器本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統、地震監控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統中。

二、產品性能

靈敏度（20±5℃）	X Y Z:～40-20mv/g
測量范圍（峰值）	50~100 g
最大橫向靈敏度	≤1 ％
頻率響應（±5%）	DC ～12000 Hz
安裝諧振頻率	25,000 Hz
頻譜噪聲	25 μg/√Hz
工作溫度范圍	-40～+120 ℃
溫度響應	見溫度曲線
極性	正向
溫度靈敏度穩定性	5%
磁靈敏度	2 g/T
線性度為滿度范圍	±0.1%
安裝	M5螺釘/安裝座/磁座
敏感材料	MEAS芯片
殼體材料	鈦合金
重量	13g
輸出方式	九芯插頭/5線制
供電電壓	DC7-12V
配套件
傳感器合格證	標定參數、頻響曲線
M5螺栓/安裝座	一套
9芯/（2 米）	1根

FT1000SA系列三軸MEMS電容加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結構。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構，并提供一個克服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的中央板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結構的偏轉，從而產生電壓輸出信號。

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