1 半導體級多晶硅還原廠房的還原爐室應按潔凈廠房進行設計，空氣潔凈度等級不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定 多晶硅無塵車間設計施工

江西全立森凈化工程有限公司是一家集潔凈室、無塵車間規劃設計、預算、施工、維護及保養于一體的專業化潔凈工程公司。公司從事潔凈室行業多年，從業人員均有十年行業經驗，長期服務于電子、醫藥、食品、醫療等領域，有著創新的設計、合理的報價，還有一批的專業化的施工隊伍，確保施工綠色環保，安全文明。

公司本著“嚴格掌握新規范，追求并且予以創新”的設計理念，憑借超前的設計構思、合理的預算報價、精良的施工工藝，優質的全程服務，真誠的為每一位客戶，量身定制全新、經濟、節能的生產和工作環境。 自公司成立以來，全體員工一直秉承“以質量求生存，以信譽求發展”的經營理念，始終堅持以客戶的需求和滿意為核心，以“誠信”為宗旨，不斷的提供優質、經濟、節能、高可靠性的潔凈系統為客戶提供大的價值回報，從而使公司不斷發展壯大 。

●Ⅰ～Ⅳ級SC食品工業潔凈建筑設計、建造；

●Ⅰ～Ⅳ級醫院潔凈手術室、ICU、、供應室設計、安裝及維護保養；

●A～D級GMP醫藥工業潔凈廠房設計、建造及維護保養；

●10萬級～100級電子無塵車間、醫療器械及消毒用品無菌車間、設計施工；

●P1～P3級生物安全實驗室及其他行業通風凈化系統設計、建造及維護保養；

多晶硅無塵車間設計施工
多晶硅無塵車間環境設施要求：

1 半導體級多晶硅還原廠房的還原爐室應按潔凈廠房進行設計，空氣潔凈度等級不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。當設有通往整理廠房的連廊時，連廊的空氣潔凈度等級和處理方法應與還原爐室的要求一致，宜符合本規范附錄C的規定。

    2 還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面，當采用水磨石地面時，應采取防靜電措施。墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹脂涂料。

    3 整理廠房空氣潔凈度等級及潔凈區劃分應按工藝要求設置，空氣潔凈度不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    4 整理廠房的潔凈房間地面宜采用環氧自流平地面、聚氯乙烯(PVC)膜材料或水磨石地面，地面應采取防靜電措施。

廠房空氣潔凈度等級、溫度、濕度的設計應滿足生產工藝要求。

存在下列情況之一時，空調系統應分開設置：

    1 凈化空調系統與一般空調系統；

    2 空氣中含有易燃、易爆物質；

    3 容易產生交叉污染，對其他工序的產品質量造成影響；

    4 對溫、濕度控制要求差別大；

    5 工藝設備散熱量相差懸殊。

保證空氣潔凈度等級的送風量應符合下列規定：

    1 5級～8級潔凈室送風量應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定；

    2 生產太陽能級多晶硅的還原爐室，當空調系統為三級過濾時，其送風量應按換氣次數大于或等于6次／h計算。

潔凈室送風可采用集中送風或風機過濾機組送風的方式。

潔凈空調送風、回風和排風系統的啟閉應連鎖，正壓潔凈室連鎖程序應為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；關閉時連鎖程序應相反。

還原車間應獨立設置直流空調送風系統，不應回風。

腐蝕清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空調送風系統不宜回風。多晶硅無塵車間設計施工

潔凈空氣調節系統的新風集中處理時，新風處理機組應符合下列規定：

    1 新風應經過粗效過濾器處理；

    2 嚴寒地區新風應先預熱；

    3 送風機宜采取變頻措施。

空氣過濾器選用、布置應符合下列規定：

    1 空氣凈化處理應根據空氣潔凈度等級選用過濾器；

    2 空氣過濾器處理風量不應大于額定風量；

    3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調系統的正壓段；

    4 亞高效和高效過濾器宜設置在凈化空調系統的末端。

風機過濾機組的設置應符合下列規定：

    1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；

    2 送風量應能調節；

    3 應便于安裝、維修及過濾器更換。

凈化空調系統的送風機宜采用變頻裝置。

附錄C 主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度 

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