美國DT 7503D1三軸可變電容加速度傳感器The Dytran 7503D1 is a high precision triaxial variable capacitance (VC) accelerometer available with a 2g range. The accelerometer combines an

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美國DT 7503D1三軸可變電容加速度傳感器

在加速度傳感器中有一種是三軸加速度傳感器，同樣的它是基于加速度的基本原理去實現工作的，加速度是個空間矢量，一方面，要準確了解物體的運動狀態，必須測得其三個坐標軸上的分量；另一方面，在預先不知道物體運動方向的場合下，只有應用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的，因此用三軸加速度傳感器可以實現雙軸正負90度或雙軸0-360度的傾角，通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測量角度為60度的情況。

Tailored for zero-to-medium frequency applications, the Dytran model 7503D1 has a low end frequency response of 0 Hz, and an upper frequency range of 400 Hz. This module contains hermetically sealed MEMS capacitive sensing elements, a custom integrated circuit amplifier and low noise electronics, housed in a lightweight titanium, with 9-pin 5/16-32 radial connector and easy mounting via two #8 or M4 screws.

目前的三軸加速度傳感器大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產生的加速度正比于電阻、電壓和電容的變化，通過相應的放大和濾波電路進行采集。這個和普通的加速度傳感器是基于同樣的一個原理，所以在一定的技術上三個單軸就可以變成一個三軸。對于多數的傳感器應用來看，兩軸的加速度傳感器已經能滿足多數應用。但是有些方面的應用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數采設備，貴重資產監測，碰撞監測，測量建筑物振動,風機,風力渦輪機和其他敏感的大型結構振動。

美國DT 7503D1三軸可變電容加速度傳感器
特性

1. 2,000 mV/g sensitivity

2. 2g range

3. 0 to 400 Hz frequency range (3dB)

4. 9-pin 5/16-32 radial connector

5. Mounting via two #8 or M4 screws

6. 38 grams

7. Titanium

8. Hermetic

9. Case isolated

10. Differential output

11. Operates from +9 to +36 VDC

12. Triaxial

13. DC response

加速度傳感器，包括由硅膜片、上蓋、下蓋，膜片處于上蓋、下蓋之間，鍵合在一起；一維或二維納米材料、金電和引線分布在膜片上，并采用壓焊工藝引出導線；工業現場測振傳感器，主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應得到與振動或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業現場典型采用IEPE型加速度傳感器，及內置IC電路壓電加速度傳感器，傳感器輸出與振動量正正比的電壓信號。

應用

1. Airbag testing

2. Crash testing

3. Robotics

4. Seismic monitoring

5. Tilt measurement
美國DT 7503D1三軸可變電容加速度傳感器

加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設備。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力，就好比地球引力，也就是重力。加速力可以是個常量。加速度計有兩種：一種是角加速度計，是由陀螺儀（角速度傳感器）改進的。另一種就是線加速度計。

參數

Weight, Max 1.3 oz 38 grams

Material Titanium Alloy Titanium Alloy

Sensing Technology MEMS MEMS

Input Range ±2 g ±19.6 m/s2

Frequency Response (3dB), Nom 0 - 400 Hz 0 - 400 Hz Notes:

Sensitivity Differential, ±5% [1] 2000 mV/g 204 mV/m/s2 [1] Single ended sensitivity is half of values shown. (Ref. at 100 Hz)

Output Noise, Differential ,Typ 5 μ g rms/√ Hz 49 μ m/s2 /√ Hz [2] -90% to +90% of Full Scale.

Non-Linearity, Max [2] 0.5 % F.S 0.5 % F.S

Cross Axis Sensitivity, Max 3 % 3 %

Maximum Mechanical Shock (0.1 ms) ±2000 gpk ±19620 m/s2 peak

Bias Temperature Shift ,Max [3] 167 (ppm of span)/°F 300 (ppm of span)/°C

Bias Calibration Error, Max 4 % of span 4 % of span

Operating Temperature Range -40 to +250 °F -40 to +121 °C

Seal Hermetic Hermetic

Output Common Mode Voltage, Typ 2.5 VDC 2.5 VDC

Output Impedance <100 Ω <100 Ω

Operating Voltage +9 to +36 VDC +9 to +36 VDC

Operating Current (AOP &AON open), Max 35 mA Dc 35 mA Dc

Power Supply Rejection Ratio >65 dB >65 dB

并把一維或二維納米材料連接成測量電橋；所述的信號處理電路包括：整流穩壓電路、載波振蕩器、測量電橋和交流載波放大器。加速度(力)信號作用在質量塊上，使膜片發生應變，利用膜片上的納米材料測出應變，利用全橋檢測方法，將材料應變轉化為電信號，再通過一系列的信號處理過程，從而得到被測加速度信號的數值。根據本發明的這種微型膜片式加速度傳感器具有很高的靈敏度，并可進行批量生產。

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