光電URE-2000A型光刻機

蘇州汶顥微流控技術股份有限公司（原名：蘇州汶顥芯片科技有限公司）是一家留學人員回國創業的高新科技企業，集研發、生產、銷售為一體，技術力量雄厚，生產設備先進，檢測手段齊全，產品質量過硬。公司建立了完備的微流控芯片研發與生產中心，配置了三條微流控芯片生產線，包括數控CNC微加工儀器，軟刻蝕有機芯片加工系統，光刻-掩模無機芯片加工系統，可以加工生產所有材質的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產品涵蓋集成式通用醫療診斷芯片、集成式通用環境保護分析監測芯片、集成式通用食品安全分析檢測芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數十個品種，以及各類科研類芯片，并在生物芯片和化學芯片領域一直保持技術和研發的領先地位，擁有81項知識產權，其中：已申請發明專利65件、實用新型專利7件，注冊商標2件，登記軟件著作權7件。

光刻機產品名稱：

光電URE-2000A型光刻機

光刻機產品特點：

◆ 曝光面積：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）

◆ 對準精度：0.6μm

◆ 掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）

◆ 掩模相對于樣片運動行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大膠厚：500m(SU8膠，用戶提供勻膠條件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞燈功率：1000W（直流）

◆ 曝光設定方式：定時（方式0.1s-999.9s任意設定）

◆ 外形尺寸:1400mm（長）1200mm(寬) 2150mm（高）

 

光刻機技術參數 配置:

（1）曝光頭

◆冷光橢球鏡

◆1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)

◆XYZ汞燈調節臺

◆光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1

、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片

、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風扇

◆循環水冷系統

（2）對準工件臺

◆掩模樣片整體運動臺

◆掩模樣片相對運動臺

◆轉動臺

◆樣片調平機構,自動完成

◆樣片調焦機構，自動調

◆承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下機構

（3）對準顯微鏡

◆光源（配備品2只）、電源

◆雙目雙視場對準顯微鏡主體

◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

（4）CCD對準系統

◆光源（配備品3只）、電源

◆成像光學系統

◆數據采集卡

◆CCD

（5）電控系統

◆汞燈觸發電源(1000W直流汞燈)

◆單片機控制系統

◆控制柜桌

◆計算機系統及液晶顯示器(21寸寬屏)

（6）氣動系統

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

◆電磁閥驅動

◆氣動儀表

（7）其他附件

◆真空泵一臺（無油泵）

◆空壓機一臺（靜音泵）

◆管道

（8）技術資料

◆使用維修說明書

◆顯微鏡使用說明書

 

 

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