半自動CD測量系統 VIEW MicroLine 300半自動CD測量系統 VIEW MicroLine 300 VIEW MicroLine 300MicroLine 臨界尺寸測量系統設計應用于半導體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測。Microline 系列可自動測量線寬，迭置重合，和其他關鍵尺寸。

東莞市天測光學設備有限公司（TianCe Optical Equipment Co.,LTD.）是一家專業從事測量儀器銷售和服務的高新技術企業。公司坐落在中國制造業名城廣東省東莞市.公司本著“誠信、專業、務實、創新”的經營理念，堅持“以質量求生存、以信譽求發展”為企業宗旨,為客戶提供高質低價的產品和服務,獲得珠三角客戶廣泛好評。
公司專業從事美國QVI產品、OGP影像測量儀，VIEW影像測量儀（中國區總代）、法國Keron 關節臂三坐標測量儀、等著名品牌測量儀器的銷售、安裝、維修、校正、保養、升級等服務。公司擁有完善的樣品測試中心和方案評估實驗室,可為客戶提供完善的測量解決方案,公司附設200平米的機器展示中心,可為企業，學校及研究機構提供三維尺寸測量，三維激光掃描，測量儀應用培訓等服務。

半自動CD測量系統 VIEW MicroLine 300


半自動CD測量系統 VIEW MicroLine 300
半自動CD測量系統 VIEW MicroLine 300

MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統。

主要技術參數：

◆    測量范圍(XYZ)：標準：200×200×25mm；可選：30030025
◆    視場內測量精度：10nm(100 鏡頭)；Z軸聚焦范圍：25 mm
◆    視場內測量范圍：0.5um~400um；
◆    視場內測量重復性(100 物鏡)：  晶圓上<0.010um(1δ)；
掩模板上0.005um(1δ)；

◆    zui大承重：2kg

◆    標配鏡頭10，可選鏡頭：5X, 20, 50, 100

MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .

The main technical parameters :

◆ X,Y,Z Measuring Range (mm):   standard :20020025                      optional :  30030025

◆ The field measurement accuracy ：10nm （100 lens ）          Z Foucsing Range (mm)     :   25

◆ The field measurement range ：0.5um~400um；

◆ The field measurement repeatability （100 lens）：on wafer < 0 0.010m(1δ)；

on mask plate 0.005um(1δ)；

◆ Max Recommanded Load      :   2kg

◆  Lens ： standard ：10

optional ：5X，20，50，100。

桌上型半自動CD測量系統 VIEW MicroLine 300

MicroLine 系列 主要用于測量半導體、MEMS 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對接誤差等)量測。
MicroLine 臨界尺寸測量系統設計應用于半導體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測。Microline 系列可自動測量線寬，迭置重合，和其他關鍵尺寸。

MicroLine 裝備有高性能光學顯微鏡，運動平臺，可測量0.5 微米到400 微米大小的產品，測量精度和重復性在10nm （1  σ ，100倍物鏡）。

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