ThermaLeverTM探針區(qū)別于以往市面上的普通探針，它是一種批量生產(chǎn)的熱探針，主要成分為參雜硅。探針微懸臂的末端裝有加熱裝置，

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 ThermaLever^TM探針區(qū)別于以往市面上的普通探針，它是一種批量生產(chǎn)的熱探針，主要成分為參雜硅。探針微懸臂的末端裝有加熱裝置，可使探針以一種可控的速率快速升溫至400℃。而普通探針則經(jīng)常需要一些手工制作，或者由于電阻由金屬薄膜制成而僅能升至較低的溫度。此外，ThermaLever^TM探針的另一個(gè)重要是探針針尖的末端半徑。以前的熱探針末端半徑總是比標(biāo)準(zhǔn)AFM探針大很多。而 ThermaLever^TM探針提供的橫向分辨率則大大超過其他AFM探針。Anasys 公司有兩種型號的ThermaLever^TM探針，AN2-200和AN2-300.所有這些探針的的針尖高度在3μm到6μm之間，微懸臂厚度在2μm左右。AN2-300的彈簧常數(shù)較低，主要用于接觸模式。而AN2-200共振頻率較高，主要用于間歇接觸模式。下圖所示的是AN系列探針的SEM圖。左圖顯示了整個(gè)微懸臂的的形貌而右圖顯示的是針尖附近的形貌。

下表所列的是兩種型號熱探針的主要技術(shù)參數(shù):

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