產品簡介
全自動槽式蝕刻薄化設備※本套設備位于TFT-LCD液晶處理廠房內(潔凈室為千級室內放置型),其主要功能是通過化學方法即化學蝕刻,該方法
產品說明
全自動槽式蝕刻薄化設備
※ 本套設備位于TFT-LCD液晶處理廠房內(潔凈室為千級室內放置型),其主要功能是通過化學方法即化學蝕刻,該方法蝕刻出來的玻璃基板能達到厚度均勻、表面效果良好的要求,并可以提高生產效率,更適合于量產。
※ 機械臂的橫向移動和縱向提升均采用進口伺服馬達,閉環控制,定位精度≤0.3mm,可靠性高;采用雙導軌結構及線性模塊傳動,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩。
※ 清洗能力:玻璃基板尺寸:≤730*920mm ;蝕刻前厚度尺寸:0.4-1.2mm ; 蝕刻后厚度尺寸:0.3-0.6mm ; 1籃/批,20 PCS/籃。
※ 整機主要由腐蝕清洗主體(槽體部分/管路部分等),抽風系統,電控單元及操作臺等部分組成。
※ 正前方采用由PP 板框架和透明 PVC 板左右推拉門密閉結構觀察窗組成;下部為工藝槽,后下方為管路區,相應位置配有磁吸活動門,方便對其內部各部件進行檢查和維修。
※ 全程自動化控制(QDR模塊),工藝過程中沒有人工干預,保證產品性能的一致性。
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