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產品簡介

北京XL-80激光干涉儀價格利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三坐標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行測量的測量儀器。激光干涉儀XL-80的激光系統，在便攜性、系統精度及動態測量性能方面獲得顯著提高完成了更輕巧的激光測量及校準。

公司簡介

北京科斯儀器有限公司注冊于北京經濟技術開發區，是服務于中國境內高等院校與科研院所的儀器、設備供應商，是專門代理經營歐、美及國內Z先進的儀器、設備及技術的進出口公司。愿與中、外同仁廣泛合作，為中國的教育與科研事業在更廣范圍、更高層次上提供優質服務。

展開

產品說明

北京XL-80激光干涉儀價格

由的激光測量系統制造商出品：激光干涉儀 XL-80

更輕巧的激光測量及校準

激光干涉儀系統：主要規格

雷尼紹設計、制造和提供激光干涉儀系統已有二十多年的歷史。其生產的ML10激光干涉儀系統在使用精度和可性方面已成為公認的標準。

  激光干涉儀 XL-80系統在便攜性、系統精度及動態測量性能方面獲得顯著提高。其使用更快捷、方便，并且保留了純粹干涉測量系統的優點—雷尼紹激光干涉儀正是憑借這一成熟技術，成為用戶的系統。



  激光干涉儀 XL-80保留了雷尼紹產品在日常使用中、在緊要之處展現出、可靠性和耐用性等重要優點。

X L 激光測量系統的性能提升，更廣泛地適合各類客戶的測量選擇。新系統比已有系統更輕巧，便攜性更強，使用更方便助您遙遙于同行。

系統組件

該系統的基本組件是一個輕型XL-80激光頭和一個的XC-80補償器系統

XL-80激光頭
     XL-80激光頭可以產生非常穩定的激光光束，采用的波長可溯源至和標準。

   確保在整個環境范圍內，即0 - 40 ºC和650 - 1150毫巴范圍內，線性測量精度為±0.5 ppm。讀數以50 kHZ頻率讀取，zui高線性測量速度可達4 m/s，即使在zui高速度下線性分辨率仍可達1 nm。


   由于XL系統的所有測量項目（不僅僅是線性測量）均采用激光干涉原理，您可以充分信賴所有的測量精度。

激光系統可經由USB直接與計算機連接，無需單獨的接口。激光系統的標準配置還具有一個輔助模擬信號輸出，該插槽還可以接收觸發信號輸入，用于數據同步采集。正交輸出為工廠設定選項。

    激光頭前部的LED狀態指示燈顯示激光狀態和光強，相當于將軟件上的“狀態顯示”擴展到激光頭上。加上可切換的長距離模式 (40 m - 80 m) 和不到6分鐘的預熱時間等優點，令XL-80的使用更快捷方便。


  外接開關電源輸入電壓范圍為90 V - 264 V。

系統組成

XC-80補償器和傳感器

   XC-80補償器是XL系統測量精度的一個關鍵因素。補償器配備有“智能型傳感器”來處理原始環境參數，可非常準確地測量空氣溫度、空氣壓力和相對濕度。


  XC-80和傳感器的設計確保在整個工作條件范圍內這些裝置都具有的讀數。這些裝置非常堅固，能夠承受日常的搬動。

也可以將多三個材料溫度傳感器連接在XC-80補償器上，將線性測量值歸一化為材料溫度為20 °C的標準值。

空氣和材料溫度傳感器均為“智能型”。內置微處理器分析并處理傳感器的輸出，再將溫度數值傳輸給XC-80補償器。這使測量更安全，也是XC-80如此輕

便小巧的關鍵原因。

然后，系統會修正激光波長的標稱值，得到一個真實值用于位移計算，基本上消除了由于這些變化而導致的測量誤差。如XC-80裝置的LED狀態燈所指示，每7秒鐘自動完成一次更新。

與XL-80激光系統一樣，補償器通過一個USB端口直接連接到計算機上，XC補償器由USB端口直接供電（無需單獨的電源）。

XC-80僅重490 g，加上XL-80也只有3 kg多一點（包括連接電纜、XL電源和傳感器）。

傳感器性能	范圍	精度
材料溫度	0 ºC -55 ºC	±0.1 ºC
空氣溫度	0 ºC -40 ºC	±0.2 ºC
空氣壓力	650 毫巴-1150 毫巴	±1 毫巴
相對濕度(%)	0% -95% 非冷凝	±6% 相對度

系統組件

三腳架和云臺

除非您使用的是專用的測量臺，否則您可能需要

一個三腳架和云臺用于調節激光相對于待測軸的位置。通用三腳架已經過廣泛的測試，具有穩定的可調基座，而且結構小巧、輕便。

   XL三腳架云臺在設計上考慮到了XL-80的角度旋轉及平移，可以一直固定在激光頭上，易于存放和快速架設。

    由于設計周密，XL-80激光系統和光學鏡組還可直接放置在花崗巖工作臺上（無需三腳架云臺）進行坐標測量機 (CMM) 的校準。

“快速安裝/釋放”機構可確保云臺快速安全地固定到三腳架上。對于那些不方便安裝三腳架的應用，例如直接固定在機床工作臺上，則云臺和激光系統也可用M8螺紋的轉接頭固定在標準磁性座上。

LaserXL™軟件大增強了XL系統的性能與靈活性

功能強大的軟件及內容清晰的幫助文件是XL-80系統潛能得以發揮的關鍵。

動態測量

LaserXL™動態測量功能允許以10 Hz至50 kHz的采樣頻率（具有12個默認值）采集數據并提供位移、速度和加速度數據。

關于實時交替顯示當前位置速度或加速度數據的信息，請參考 QuickViewXL™軟件。

這些動態測量值可以對某些機器誤差特性進行監控和分析。例如：

♦ 滾珠絲杠/螺母機構的預緊和滯后現象

♦ 位置穩定性與光柵性能

♦ 驅動電機、主軸和其他系統的共振特性

♦ 進給率精度、穩定性及細分精度

♦ 控制回路優化


    雙軸測量

在一些設備中，一個軸由兩個驅動和兩個反饋系統（如龍門銑床、車床和大型雙光束型坐標測量機）控制。在這種情況下，兩個激光頭與LaserXL軟件結合使用，具有自動同步采集平行軸數據的能力。

雙軸測量軟件為XL™軟件的標準配置。

LaserXL™軟件包括線性、角度、回轉軸、平面度、直線度和垂直度測量模塊以及動態測量功能（見下文）。用戶可為LaserXL™、QuickViewXL™和系統手冊選擇英文/中文或其他多種主要語言*的任何一種。
XCal-View的分析報告選項符合機器性能檢測的眾多標準，例如ISO、ASME、VDI、JIS和GB/T，并包括內容的雷尼紹分析。
標準分析軟件包括生成用于數控機床控制器的通用補償值選項，顯著提高了機床位置精度補償的方便性。

用于實時動態分析的QuickViewXL™軟件

實時顯示線性位移、速度和加速度分析的激光測量數據。

QuickViewXL™軟件包簡單易用，界面直觀，它能夠采集、復現和保存來自雷尼紹XL-80激光系統的動態數據。

了解系統的動態特性，例如加速度、速度、振動、停止時間、共振和減振，對于許多應用都至關重要。這些特性將影響機器的操作能力，例如位置精度、重復性、表面光潔度、工作效率及磨損。

QuickViewXL™是一種理想的研發工具，因為該軟件為用戶提供以下功能：采集的數據可方便地以C S V 文件格式加載到MathCAD、Mathmatica和Excel等支持應用程序中，作進一步分析。也可以

將數據加載到雷尼紹

XCal-View™軟件中。

♦ 以示波器方式顯示實時數據

♦ 數據采集率達50 kHz

♦ 支持線性、角度或直線度測量光學鏡組的測量操作

♦ 三種數據采集模式：自由運行、單次觸發及多次觸發

♦ 距離、速度和加速度顯示模式

♦ 提供1、2、5、10、20、50和100 ms的過濾響應時間

♦振幅、時間及頻率測量光標

♦ 手動縮放、平移和放大功能方便對所選數據進行仔細

♦ 分析

♦ 自動縮放選項

采集的數據可方便地以C S V 文件格式加載到MathCAD、Mathmatica和Excel等支持應用程序中，作進一步分析。也可以將數據加載到雷尼紹XCal-View™軟件中。
系統性能

如果沒有可靠準確的波長補償，很容易導致20 ppm - 30 ppm的誤差。

±0.5 ppm 線性測量精度在整個環境工
作條件范圍內得到認證

1 nm 線性分辨率（即使在
zui高速度下）

4 m/s zui高移動速度

7 s 每7秒自動更新環境補償

50 kHz 動態采集頻率

80 m 線性測量距離為標準設定
大多數激光測量中的zui大不確定度是由環境條件與標稱值之間的差異引起的（空氣溫度、空氣壓力、相對濕度），即使環境條件的微小變化也會改變激光波長和相關測量讀數。例如，下列變化會使激光波長增加0.25 ppm（百萬分之一）：

♦ 空氣溫度升高0.26 °C
♦ 空氣壓力下降0.93毫巴

當空氣溫度、相對濕度、和空氣壓力與標稱值之間的誤差影響組合到一起，可能導致20-30 ppm的測量不確定度（即使測試條件保持穩定也不例外）。

雷尼紹使用其XC-80環境補償單元和環境傳感器對激光波長進行補償。

激光干涉儀XL-80補償系統和傳感器能夠在整個系統工作范圍內保持精度。因此，在0 - 40 ºC及整個空氣壓力范圍內，可以保持±0.5 ppm的線性測量精度（參閱與同行系統的圖形比較）。

系統優點

其他影響精度的因素

♦ 激光穩頻精度 – 通過熱控制技術將激光管長度變化控制在幾納米范圍內，達到3年內精度為±0.05 ppm。

♦ 分離式干涉鏡 – 雷尼紹使用遠控干涉鏡，而不是安裝在激光頭上或內部的干涉鏡，以避免熱漂移。

♦ 保證所有項目測量精度 – 激光線性位置測量精度只是計量解決方案的一部分。您也可以用XL-80系統采集并分析線性、角度、直線度、垂直度、平面度及回轉軸運動，所有測量都以可溯源線性測量為基礎。

測量歸一化

為對熱膨脹進行補償，XC-80裝置也可從多3個材料溫度傳感器上接收數據。這些傳感器放置在被測機床的適當位置上，將所有讀數歸一化為20 ºC的基準溫度。執行線性測量，尤其是在大型機床或高膨脹材料制造的機床上執行線性測量時，熱補償具有特別重要的意義。

設計保證精度

我們相信，您一定了解我們優異性能表現背后的堅實技術基礎，讓您確信XL-80可在精度要求高的場合一如既往地為您提供測量。

雷尼紹的精度指標是根據公認的測量不確定度計算程序 (EA - 4/02) 得出的激光穩頻精度、傳感器輸出以及所有影響終測量結果的關鍵參數和計算值。可提供基于公布指標的誤差預算摘要。

系統總體精度達到公認的95% (k = 2) 的置信度，并包含運行過程中的熱漂移修正量。
經過驗證的現場性能

目前，的安裝使用數量已達數千套，我們的記錄顯示雷尼紹的激光系統在不斷滿足各種條件下的使用要求。這種性能水準已無數次得到第三方測試（包括實驗室）的驗證。
使用和設定簡單

運輸方便，設定和使用快捷，減少了用戶的等待時間，增加了可利用的測量時間。

• 預熱時間短（少于6分鐘）

• 激光系統與云臺設計為可一起存放

• 云臺可從三腳架上快速地拆卸

• 減少了部件和連接裝置。激光系統和補償器通過USB連接至計算機；無需單獨的接口和復雜的設定

• XC-80補償器通過USB連接供電，因此不需要外部電源。

靈活性和操作簡便性

• 可以在標準 (40 m) 和長 (80 m) 距離模式之間“切換”

• 模擬輸入/輸出端口允許模擬和正交信號輸出（工廠選項）及觸發信號輸入

• 易于讀取的狀態及信號強度LED指示燈

• 以標準或無線鼠標觸發遠程手動數據采集

XL-80激光系統和XC-80補償器體積很小，整個系統（除去三腳架）現在可以裝入一個真正便攜的“便攜箱”中。整套線性系統裝在便攜箱中后僅重12 kg左右。即使加上可選購的角度光學鏡組和附件，重量也只有15 kg多點；如此便攜的“檢測和校準”系統，令其他產品無法相媲美。

基本系統便攜箱可容納
整個線性和角度系統*

系統的“ 便攜箱” 和額外
的三腳架便攜箱十分輕便

設計
XL系統根據激光和非激光用戶反饋的廣泛意見進行設計，既突破了當前系統限，又能預期未來設計要求。XL-80的設計能夠隨用戶未來需求的變化而更新和發展。

主要規格

器 XC-80
尺寸（重量）	135 mm x 58 mm x 52 mm (490 g)
電源	經由USB 通過計算機供電
內部傳感器	空氣壓力相對濕度
外接傳感器	1個空氣溫度1 -3個材料溫度
接口	內置USB 通訊端口，無需單獨接口

XC 補償器以組件的形式提供，包括：

• XC 補償單元

• 空氣溫度傳感器組件

• 材料溫度傳感器組件

• USB 電纜

• 系統手冊（光盤）

激光頭 XL-80
尺寸（重量）	214 mm x 120 mm x 70 mm (1.85 kg)
電源	外部電源，90 V AC -264 V AC 自動適應
系統測量能力	線性、角度（加回轉軸）、平面度、直線度和垂直度
激光輸出
接口	內置USB 連接，無需單獨接口
TPin （觸發信號）	是
正交信號輸出	是（工廠設定，可選）
模擬電壓輸出	是
信號強度LED 指示燈	是

XL 激光系統以組件的形式提供，包括：

• XL 激光頭（配標準光閘）• USB 電纜

• 電源和電纜

• 輔助輸入/輸出接頭• 系統手冊（光盤）

系統便攜箱和三腳架
	便攜箱1 （基本系統箱）	便攜箱2 （全套系統箱）
便攜箱尺寸 (L x H x D)	560 mm x 351 mm x 229 mm	560 mm x 455 mm x 265 mm
系統重量*	12 kg -17 kg	16 kg -25 kg
	通用三腳架本體
折疊后外形尺寸（重量）	Ø160 mm x 640 mm (3.9 kg)
工作高度范圍（至激光輸出光束）	zui小：540 mm zui大：1560 mm （柱朝上）
三腳架便攜箱	防護尼龍袋**
便攜箱尺寸	670 mm x 170 mm x 170 mm
* 系統裝入便攜箱后的重量取決于的選項多少較輕重量是指運輸箱裝載如下選項的重量：便攜箱1：線性XL 及XC 系統便攜箱2：線性、角度和直線度XL 及XC 系統 ** 有硬殼三腳架便攜箱供選購

系統性能
線性測量距離	80 m
線性測量精度	±0.5 ppm
激光穩頻精度	±0.05 ppm
分辨率	1 nm
zui高移動速度	4 m/s*
動態采集頻率	10 Hz -50 kHz**
預熱時間	< 6 分鐘
環境溫度	0 ºC -40 ºC
環境傳感器
	范圍	精度
材料溫度	0 ºC -55 ºC	±0.1 ºC
空氣溫度	0 ºC -40 ºC	±0.2 ºC
空氣壓力	650 毫巴-1150 毫巴	±1 毫巴
相對濕度(%)	0% -95% 非冷凝	±6%相對濕度
* 1.6 m/s（80 nm 正交）；0.2 m/s（10 nm 正交）** 20 MHz ，正交模式

其他
保修	激光3年（也可選擇5年）
證書	XL 、XC 、空氣溫度和材料溫度傳感器。證書符合ISO 17025 標準要求。
質量體系	符合GB 17421 、ISO 9001 、BSI 標準

測量光學鏡組

使用與雷尼紹的ML10系統一樣的光學鏡組，包括線性、角度（包括回轉軸）、直線度、垂直度和平面度測量鏡組。所有測量均采用干涉原理測量，因此也使用了可溯源至標準波長的激光波長。
光學鏡組附件

LS350激光準直輔助鏡

這個獨特的光學儀器產品方便了水平面和垂直面上的激光光束準直，使激光準直僅僅是簡單的一步操作。激光準直輔助鏡提高了線性、角度和直線度測量調整速度，無論測量是在激光頭光路成直線還是在90°位置上進行。此光學儀器還可與線性/角度測量組合配件以及旋轉/固定轉向鏡兼容。激光準直輔助鏡使用緊固螺釘簡便地安裝在測量光學鏡組上。

其他同類系統有的使用電子標靶來測量俯仰、扭擺和直線度誤差，但經常會影響測量精度和穩定性。


調整角度范圍	±35 mm/m	±2°
軸向量程	0 m – 10 m	0 ft – 33 ft

旋轉鏡

   這種旋轉鏡可以作為ISO 230-6ANSI B5.54對角線測量的校準輔助設備。它對于測量斜床身車床也很有用。緊固螺釘使旋轉鏡能夠簡便地安裝在測量光學鏡組上。

固定轉向鏡

這種鏡子可以使激光光束進行90º轉折。與旋轉鏡類似，它可以安裝在測量光學鏡

組上，協助光學鏡組的設定，主要用于待測軸的通道空間受限的場合。


   進行回轉軸測量，可使用XR20-W無線型回轉軸校準裝置。在與XL-80系統和角度光學鏡組配合使用時，可進行回轉軸全自動校準，精度達±1角秒。

測量規格

線性

規格	公制	英制
線性測量長度范圍*	0 m – 80 m	0 in – 3200 in
測量精度（XC-80 補償器）	±0.5 ppm （百萬分之一）
分辨率	0.001 μm	0.1 μin
* 0 m -40 m（標準）。線性（上述）和其他測量模式的性能規格的置信度達到95% (k = 2)，并在整個環境操作范圍內有效。

角度

規格	公制	英制
軸向量程	0 m -15 m	0 in -49 ft
角度測量范圍	±175 mm/m	±10º
角度精度	±0.002A ±0.5 ±0.1M μm/m	±0.002A ±0.1 ±0.007F角秒
分辨率	0.1 μm/m	0.01 角秒
A = 顯示的角度讀數
M = 測量距離，單位為米；F = 測量距離，單位為英尺

回轉軸

規格	公制	英制
角度目標量程	達25 轉
測量精度（0° 時為零）	±5 μm/m	±1角秒
軸zui高（<5° 軸步距內旋轉）轉速（>5° 軸步距旋轉）	制
	10 rpm
藍牙范圍	通常為5 -10 米
方向	任意

平面度

規格	公制	英制
軸向量程	0 m -15 m	0 in -590 in
平面度測量范圍	±1.5 mm	±0.06 in
精度	±0.002A ±0.02 M2 μm	±0.002A ±0.08 F2 μin
分辨率	0.01 μm	1 μin
橋板跨距	50 mm 、100 mm 和150 mm	2 in 、4 in 和6 in （大約）
A = 顯示的平面度讀數
M = 對角線長度，單位為米；F = 對角線長度，單位為英尺

直線度

規格	公制	英制
軸向量程（短距離）（長距離）	0.1 m -4.0 m 1 m -30 m	4 in -160 in 40 in -1200 in
直線度測量范圍	±2.5 mm	±0.1 in
精度（短距離）（長距離）	±0.00 ±0.5 ±0.15 M2 μm ±0.02 ±5 ±0.015 M2 μm	±0.00 ± 20 ±0.5 F2 μin ±0.02 ±200 ±0.05 F2 μin
分辨率（短距離）（長距離）	0.01 μm 0.1 μm	1 μin 10 μin
A = 顯示的直線度讀數M = 測量距離，單位為米；F = 測量距離，單位為英尺；

垂直度

規格		公制	英制
范圍		±3/M mm/m	±2000/F 角秒
軸向量程	（短距離）（長距離）	±0.00 ±2.5 ±0.8 M μm/m ±0.02 ±2.5 ±0.08 M μm/m	±0.00 ±0.5 ±0.05 F角秒±0.02 ±0.5 ±0.005 F角秒
分辨率		0.01 μm/m	0.01 角秒
A = 顯示的垂直度讀數
M = 長軸測量距離，單位為米；F = 測量距離，單位為英尺

北京XL-80激光干涉儀價格
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