英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。

KW系列勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無(wú)油真空泵一起使用。

目前型號(hào)有KW-4A型，KW-5型與號(hào)KW-4B型。

基于中科院微電子所技術(shù)升級(jí)改造

產(chǎn)品主要特點(diǎn)：

1、開(kāi)關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。

2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠攤開(kāi)，然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)，時(shí)間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。

4、具有定時(shí)功能。

5、測(cè)速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。

6、”吸片”采用電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作，適合流水線的工藝，提高了效率。

7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。

性能指標(biāo)：

KW-4A型勻膠機(jī)

1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間

Ⅰ檔　調(diào)速范圍：500-2000轉(zhuǎn)／分　?、駲n　勻膠時(shí)間：2-18秒

Ⅱ檔　調(diào)速范圍：1300-8000轉(zhuǎn)／分　?、驒n　勻膠時(shí)間：3-60秒

2、適用：Φ5-Φ120mm硅片及其它材料等勻膠。

3、LED數(shù)字顯示，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1％，膠的均勻性：±3％。

4、電機(jī)功率：40W，單相220V供電

5、真空泵抽氣速率≥60升／分

6、體積小，重量輕，操作簡(jiǎn)便

7、KW-4A型勻膠機(jī)新增功能：1.按鍵互鎖防止飛片。2.面板控制泵的開(kāi)關(guān)。3.帶顯示功能

儀器尺寸：210×220×160mm