1、計數效率；

2、計數準確度（靈敏度）；

3、流量準確度；

4、零計數；

這4個參數互相制約, 使得設計一個高質量的傳感器具有強的挑戰性. 也是其它粒子計數器制造商與國外水平的差距所在. 其它參數如重疊損失、測量重復性等屬于制造商設計常規自檢范疇。

一、計數效率

  根據JIS（日本工業標準）：0.3μm 要求50％±20％的計數效率；而在0.3 μm 處檢測0.45μm（0.3 的1.5 倍，通常檢測選擇用0.5μm 代替）的計數效率， 要求達到100％±10％。 一般情況下是由比較法來完成，溯源性是由電鏡計數而產生一級母機來保證。用對比法產生二級母機。二級母機可以作為參照標準，但不能再比對生產新的母機。

二、計數準確度（靈敏度）

  一臺粒子計數器能否具有所稱檢測粒子的靈敏度是由的門限電路及其相關電路的分辨率和準確性來保證，可靠的方法就是采用的多通道信號分析儀來檢測。電壓標準均需可溯源。

三、流量準確度

  需要可溯源的流量計來檢測標定。