氣體分析儀-對高純氣體分析的探討

目前高純氣體分析的形式

高純氣體中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點.

① 熱導檢測器TCD 目前國內在高純氣體分析領域多數采用的熱導(TCD)檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質;

② 氧化鋯檢測器 氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器,只能分析少數幾種氣體雜質;

③ 氬離子檢測器 氬離子檢測器又往往帶有放射源,均不能達到高純氣體分析的基本要求.隨著國內高純氣體行業的發展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高,以上幾種檢測器已經不能完成對高純氣體中微量雜質的檢測.

④ 電子捕獲檢測器ECD 此檢測器靈敏度高，卻含有放射源，對人體有害，一般單位未經許可不允許使用。

⑤ 氦離子檢測器 HID 從前使用的HE離子檢測大都是進口的，進口的氦離子報價100多萬，價格比較貴。

新的發展趨勢

至南京科捷分析儀器有限公司自主研發出脈沖放電氦離子化氣相色譜儀，并申請國家(：ZL2006 2 0074774.X)后，此儀器對高純氣體分析有很好的響應，國內能檢測到PPb級含量的檢測器。相比以前常使用的檢測器，他的優點在于：

檢測器種類          通用性          靈敏度            線性范圍     載氣                        是否明火

TCD熱導檢測器        通用         低           一般      一種                            否

FID氫火焰檢測器      對特定氣體        高         一般      氫氣、空氣、氮氣或氦氣三種       是

HID氦離子檢測器     通用         很高         寬        氦氣                             否