Transpector2的特點 I100－，200－，和300－am

Transpector 2 的特點

·I100－，200－，和300－amu系統帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合。

·改進的氫檢測。

·與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍

·快速掃描低值訊號

·個量級的電子學動態量程

·用于單傳感器和多傳感器系統的軟件選件

·分壓測量從1×10-4乇至2×10-14乇

Transpector 2 是基于四極場的智能傳感器，全部傳感器電子驅動加上微處理器安裝在一個附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內。由于它是智能的傳感器，具有相當的靈活性，您可以使用當前的計算機或從INFICON選購PC和軟件包。兩種通訊鏈接，RS232用于單傳感器，RS485用于多傳感器配置，將Transpector2 連接控制計算機。簡單的指令協議支配全部Transpector功能。

RGA 應用(主要用途)

* 檢漏

* 真空設備本底狀況鑒定

* 在線工藝氣體監測分析

* 檢漏 

   -  真空系統泄漏(內漏,外漏)

   -  可設置報警點,實現報警功能

   -  與氦質譜檢漏儀的區別:

	RGA	氦質譜檢漏儀
示漏氣體	氦氣或其他任何示漏氣體	氦氣
可檢漏類型	內漏,外漏	外漏
顯示	TWare32軟件檢漏模式/監控模式 (離子流/分壓強)	顯示面板(漏率)

* 真空系統本底狀態鑒定

  在系統達到極限真空時測定殘余氣體的種類和量值

* 真空系統污染監測和控制

  清洗介質殘留,返油(碳氫化合物),表面放氣(空氣, H2O,   O2, CO, CO2)

  通過軟件中的標準氣體庫,可確定氣體成分.

* 真空工藝監控

  - 在線監控:實時反映工藝異常或偏差

  - 數據按時間自動存儲(SOD文件)以便

    日后追溯進行工藝分析

  - 繼電器輸出可用于控制閥門

  - 模擬輸出可連線PLC

* 鍍膜工藝研究開發

  各種工藝氣體的相對比例對工藝/產品的影響

RGA的選用 - 為您的鍍膜機選擇合適的RGA

* zui小可檢分壓強(MDPP)

    法拉第杯(FC):  3 x 10-13 Torr

    電子倍增器(EM)+法拉第杯(FC):10-14~10-15 Torr

* 質量數(AMU)

    取決于需要探測的氣體

    100AMU傳感器 探測范圍: 1-100AMU

     200AMU傳感器 探測范圍: 1-200AMU

     300AMU傳感器 探測范圍: 1-300AMU

    絕大多數工業應用僅需100AMU傳感器 

* 工作壓強范圍

    - 標準RGA: < 5 x 10-4 Torr

    - 高壓強型XPR3: < 1 x 10-2 Torr

- 若需在更高壓強下工作, 須使用取樣系統(IPC400)

 

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