測量電阻率的方法很多，四探針法是種廣泛采用的標準方法。它的優點是設備簡單、操作方便，度，對樣品的形狀無嚴格要求。zui常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同直線上，并且間距相等，都是S，般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。般目前的四探針電阻率測定儀均已配置厚度的修正，通過厚度數值的設置，計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。
    儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成報表；儀器采用了zui新電子技術行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等點。
    四探針電阻率測定儀適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
    四探針軟件測試系統是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數據并對測試數據行統計分析。
    測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據行各種數據分析。