電容式濕敏元件的優點在于響應速度快、體積小、線性度好、較穩定，國外有些產品還具備高溫工作性能。但是達到上述性能的產品多為國外，價格都較昂貴。市場上出售的一些電容式濕敏元件產品，往往達不到上述水平，線性度、一致性和重復性都不甚理想，30%RH以下，80%RH以上感濕段變形嚴重。有些產品采用單片機補償修正，使濕度出現"階躍"性的跳躍，使精度降低，出現一致性差、線性差的缺點。無論次或低檔次的電容式濕敏元件，長期穩定性都不理想，多數長期使用漂移嚴重，濕敏電容容值變化為pF級，1%RH的變化不足0.5pF，容值的漂移改變往往引起幾十RH%的誤差，大多數電容式濕敏元件不具備40℃以上溫度下工作的性能，往往失效和損壞。
電容式濕敏元件抗腐蝕能力也較欠缺，往往對環境的潔凈度要求較高，有的產品還存在光照失效、靜電失效等現象，金屬氧化物為陶瓷濕敏電阻，具有濕敏電容相同的優點，但塵埃環境下，陶瓷細孔被封堵元件就會失效，往往采用通電除塵的方法來處理，但效果不夠理想，且在易燃易爆環境下不能使用，氧化鋁感濕材料無法克服其表面結構"天然老化"的弱點，阻抗不穩定，金屬氧物陶瓷濕敏電阻也同樣存在長期穩定性差的弱點。
氯化鋰濕敏電阻，具有突出的優點是長期穩定性強，因此通過嚴格的工藝制作，制成的儀表和傳感器產品可以達到較高的精度，穩定性強是產品具備良好的線性度、度及一致性，是長期使用壽命的可靠保證。氯化鋰濕敏元件的長期穩定性其它感濕材料尚無法取代。